濱田重工株式会社

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半導体事業

SEMICONDUCTOR

太陽光パネル

先進の技術で
付加価値の高いサービスを提供

お客さまの半導体製造工程で必要とされるモニターウェハーやダミーウェハーの再生加工を行っています。
また、ウェハーへの成膜サービスや熱電対付きウェハーの製作・修理など、さまざまなサービスを提供しています。

再生加工RECLAIM PROCESSING

再生加工

ハイスペックな設備と環境を備え
最先端の技術力でお客さまのニーズに対応

ウェハー再生業界でいち早く8インチウェハー・300mmウェハーの再生加工ラインを導入し、
ウェハーの大口径化に積極的に対応してきました。
操業開始時より品質向上に努め、日々進化する半導体業界の中で絶えず高品質を追求しています。
当社のシリコンウェハー再生加工は緑豊かな熊本の地で最先端の加工・検査装置を使用し、高清浄な製品を供給しています。30年以上の経験を生かし、お客さまごとのさまざまなニーズに、きめ細かく対応しています。

車両整備作業

シリコンウェハーの再生とは

シリコンウェハー(以下SW)は、高純度金属シリコンの単結晶を円板状に加工したもので、その表面に微細な電子回路を作り込んで切り分けたものが、半導体チップになります。

電子回路を作る工程は製品により異なりますが、中には1000工程を超える場合もあります。工程では品質管理がとても重要で、さまざまなプロセスで品質チェック用のSWを用いた品質確認が行われています。それらの品質確認に使用されたSWが再生目的で当社に送られてくるのです。

当社に送られた使用済みSWは、チリやホコリ(異物)が極限まで遮断されたクリーンルームと呼ばれる特別な部屋でケミカル処理・研磨・洗浄のプロセスが施され、新品と同様の品質に再生されて世界中のお客さまに返送後、再び品質チェックなどに用いられます。

車両整備作業

シリコンウェハーの洗浄技術

シリコンウェハー再生加工の最終工程は、精密洗浄になります。

洗浄後のシリコンウェハーに

  • どれくらいのサイズの異物があるか
  • 表面に何個付着しているか

を測定し、規格に合格したもののみが製品になります。

しかしその規格も年々厳格化(微小化)しており、洗浄技術の向上は必須の最重要課題となっています。

シリコンウェハー再生の流れ

シリコンウェハー再生の流れ

製品・サービスPRODUCT / SERVICE

製品・サービス

シリコンウェハー再生以外にも
高付加価値サービスや高品質製品を提供

ウェハーへの酸化膜付けサービス、各種半導体材料の加工、 熱電対付きウェハーの製作・改良・修理など、お客さまのニーズに柔軟に対応しています。

車両整備作業

車両整備作業

海外事業所OVERSEAS OFFICES

日本とマレーシアの2拠点体制で
世界中のお客さまに安定したサービスを提供

再生事業の海外生産拠点として1996年にHAMADATEC SDN. BHD.をマレーシアに設立。
6インチ・8インチのウェハー再生工場として、日本とマレーシアの2拠点体制により世界中のお客さまに安定したサービスを提供しています。

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